ASML geeft Twinscan en Yieldstar update

11 juli 2017 

Op de Semicon West-vakbeurs, deze week in San Francisco, introduceert ASML twee nieuwe tools. De Twinscan-lijn is voortgezet met de NXT:2000i, waarbij onder meer de uitlijn- en levelsensor en de wafertafel onder handen zijn genomen. Dit mede om de machines optimaal te laten samenwerken met ASML’s euv-tools, die vanaf het foundry-5-nanometerknooppunt in het productieproces zijn opgenomen.

De nieuwste metrologietool Yieldstar 375F is voorzien van verbeterde optische technologie, die sneller en nauwkeuriger data genereert bij een instelbare golflengte. Klanten kunnen die gegevens realtime analyseren en gebruiken om hun productieproces te optimaliseren.

De NXT:2000i wordt pas vanaf volgend jaar in zijn geheel verscheept, maar tot die tijd kunnen klanten al deel-upgrades op hun bestaande machines krijgen. De Yieldstar 375F wordt al wel verkocht. Later dit jaar introduceert ASML-dochter Hermes Microvision ook nog een nieuwe e-beam-metrologietool.

Wilt u het volledige artikel lezen?

AGENDA

Events

Dutch RF Conference

29 november

Nijmegen

High-Tech Systems 2018

22 maart

Eindhoven or Nijmegen

Trainingen

Basics & design principles for ultra-clean vacuum

5 december - 8 december

Eindhoven

Design for additive manufacturing

13 december - 15 december

Eindhoven

Topbanen
Sioux CCM

Manager Mechanics

Sioux CCM

Nuenen

Actemium

Software Engineer Services (PLC/SCADA)

Actemium

Veghel en Roermond

Océ Technologies

Supervisor Machines

Océ Technologies

Venlo

Techwatch

Techwatch | bv | Novio Tech Campus | Transistorweg 7-H | 6534 AT Nijmegen
T. +31 (0)24 - 350 3532 | info@techwatch.nl

Copyright ©  2017 Mechatronica&Machinebouw - All Rights Reserved

×