ASML's volgende generatie euv-machines gaat meer dan 200 miljoen kosten

18 januari 2018 

Halfgeleiderfabrikanten moeten rekening houden met een prijskaartje van ruim tweehonderd miljoen euro voor de volgende generatie euv-machines. Dat heeft ASML-ceo Peter Wennink woensdag gezegd tegen analisten. Hij verwacht de eerste zogenaamde high-NA-tools halverwege het volgende decennium te gaan leveren.

De maximaal haalbare resolutie van een lithografische scanner is evenredig met de golflengte en omgekeerd evenredig met de numerieke apertuur (NA), ook wel lensopening. Dus: groter de NA, hoe kleiner de structuurtjes die op de wafer kunnen worden geprojecteerd. De huidige generatie euv-scanners heeft een NA van 0,33, in de volgende generatie beoogt ASML dat te verhogen naar minimaal 0,5. Hoe, dat legt cto Martin van den Brink in dit interview uit.

In de high-NA-scanner moet de waferstage twee keer sneller kunnen versnellen dan de huidige euv-systemen. Bron: ASML, SPIE-presentatie 2017

Wennink vertelde dat hij na uitgebreide discussies over het ontwerp en de gewenste performance van de machine groen licht heeft gekregen van zijn klanten. ‘Zij willen dat we dit gaan doen. We bespreken nu onder welke voorwaarden we de eerste r&d-tools verschepen, en hoe snel we daarna onze productie opschalen’, aldus de topman.

De high-NA-machine zal weer een slag groter en zwaarder uitpakken dan de huidige euv-systemen. Hij zal daarom niet noodzakelijkerwijs in een huidige fab kunnen staan. Dat hoeft geen probleem te zijn, zei Wennink: de huidige euv-tool paste ook niet in een fab die vijf jaar geleden werd gebouwd.

AGENDA

Events

Technische pubquiz

16 mei

Eindhoven en Enschede

Trainingen

Introduction to sysML

22 mei

Eindhoven

Power integrity for product designers

24 mei - 25 mei

Eindhoven

Topbanen
Ministerie van Defensie

Officier Technische Dienst Landmacht

Ministerie van Defensie

Nederland

Sioux

Manager mechatronics

Sioux

Nuenen

Techwatch

Techwatch | bv | Novio Tech Campus | Transistorweg 7-H | 6534 AT Nijmegen
T. +31 (0)24 - 350 3532 | info@techwatch.nl

Copyright ©  2018 Mechatronica&Machinebouw - All Rights Reserved

×